洛陽愛科麥鎢鉬科技股份有限公司

地址:河南省洛陽市新安縣洛新產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)縱三路東
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電話:037965190908 基礎(chǔ)材料及醫(yī)療事業(yè)部(朱曉靜)
電話:037965190909 核工業(yè)事業(yè)部 (楊小貝)
電話:037965190902 光伏單晶爐事業(yè)部 (李明)
電話:037965999032 濺射靶材事業(yè)部 (張春燕)
電話:037965190907 真空爐事業(yè)部 (郭雙柯)
電話:037965999691 鎢鉬合金事業(yè)部 (范朝獻(xiàn))
電話:037965190910 外貿(mào)部 (李艷艷)
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鎢坩堝,鎢片,鉬靶,藍(lán)寶石晶體生長爐熱場,鎢鉬合金,鎢棒,鎢板,鉬片,鉬桿,鎢鉬靶材

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離子注入用鉬零件

離子注入用鉬零件
  • 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
  • 產(chǎn)品名稱:離子注入用鉬零件
  • 產(chǎn)品型號(hào):根據(jù)客戶圖紙
  • 產(chǎn)品展商:ACHEMETAL
  • 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
簡單介紹

洛陽愛科麥難熔金屬有限公司擁有車、銑、刨、磨、電加工、加工中心等各種設(shè)備,可按用戶要求加工各種離子注入用鎢零件和離子注入用鉬零件(包含高溫鉬和TZM)。 我公司加工制作的離子注入用鉬零件具有密度高,純度高,尺寸精度好的特點(diǎn)。

產(chǎn)品描述


離子注入是現(xiàn)代集成電路制造中的一種非常重要的技術(shù),其利用離子注入機(jī)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體的摻雜,即使用鎢絲作為陰極發(fā)射電子轟擊含有特定的雜質(zhì)元素的氣體分子,產(chǎn)生電離的特定雜質(zhì)原子經(jīng)靜電場加速后打到硅單晶圓片表面,并打入半導(dǎo)體內(nèi)部,改變導(dǎo)電特性并*終形成晶體管結(jié)構(gòu)。

 

由于在離子轉(zhuǎn)換為電漿離子時(shí),會(huì)產(chǎn)生2000℃以上的工作溫度,離子束噴發(fā)時(shí),也會(huì)產(chǎn)生很大的離子動(dòng)能,一般金屬會(huì)很快燒熔,因此需要質(zhì)量密度較大的惰性金屬,以維持離子束噴發(fā)方向,并增加組件耐用度,鎢鉬是必選材料。由于鎢鉬材料高溫化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、熱變形小和使用壽命長等優(yōu)點(diǎn),因此半導(dǎo)體行業(yè)離子注入機(jī)離子源組件及耗件多采用鎢、鉬材料制造,這些器件包括發(fā)射電子陰極的屏蔽筒、發(fā)射面板、中心固定桿、起弧室內(nèi)的絲極板等,我們統(tǒng)稱為離子注入用鎢零件和離子注入用鉬零件

 

離子注入用鉬零件所用材料經(jīng)過對(duì)傳統(tǒng)鎢鉬材料工藝進(jìn)行優(yōu)化,包括細(xì)晶化、合金化處理,真空燒結(jié)和熱等靜壓燒結(jié)致密化,二次晶粒細(xì)化控軋技術(shù),普遍提高傳統(tǒng)鎢鉬材料的壽命、耐高溫及抗蠕變性能。

 

我公司生產(chǎn)的離子注入用鉬零件晶粒度細(xì)化,相對(duì)密度≥99%,高溫力學(xué)性能指標(biāo)比普通鉬材料明顯提高使用壽命也明顯延長。

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